广东省高校科研项目（课题）经费信息表
科研项目
（课题）名称
基于机器视觉及纳米精密定位平台的晶圆检测设备研究与开发
项目来源
市科技计划项目
项目负责人
卢盛林
项目预算（万元）
15
预算调整
0
支出合计
44818元
其中：&苍产蝉辫;科研业务费
17800元
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;设备购置费
21768元
&苍产蝉辫;经费外拨
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;国际合作交流费
人员费
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;管理费提取
5250元
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;其他间接费用
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